4.分析案例
样品信息和分析需求：氮化镓样品中Ga和N化学态分析。
拟合元素：Ga、N。
（1）精细图谱分峰拟合（图4.141～图4.143）
图4.141 Ga3 d分峰
图4.142 Ga2 p分峰
图4.143 N1s分峰
（2）分峰拟合后化学态归属（表4.94）(https://www.daowen.com)
表4.94 分峰拟合后化学态归属
（3）解析说明
判断Ga的化学态需要同时扫描Ga3d和Ga2p，此案例中，Ga3d与O2s和In4d都有重合，而N1s与Ga LMM也重合比较严重，如果要结合定量结果判断化学态，必须通过分峰拟合后扣除Ga LMM的干扰，才能准确定量Ga与N的比例关系。
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