Ta4f精细图谱参考（图4.270）

图4.270　金属钽表面氧化的Ta4f(https://www.daowen.com)

氧化钽的厚度很容易通过电化学方法控制，因此常作为深度剖析的标准样品。氩离子源溅射使之容易产生Ta2 O5、Ta3 O7、Ta4 O9等氧化态，因此清洁表面尽量用低能离子源或团簇离子源。