3.5.1　薄膜制备

在磁控溅射技术领域实现以下发展目标：①深化现有MoS2薄膜、W/Al薄膜和PTFE薄膜的工程应用研究，实现其在航天航空产品上的型号应用；②针对航天航空机构类长寿命、低磨损的润滑需求，开展全固态CVD金刚石复合润滑涂层的设计与制备技术的研究和在航天航空机构长寿命润滑的应用；③针对卫星太阳电池阵钼箔互联片的金属化需求，开展金属化膜层的磁控溅射工艺研究和应用推广工作。

1）空间工况环境下全固态CVD金刚石复合润滑涂层的设计与制备技术

突破面向特殊空间工况环境下的全固态CVD金刚石复合润滑涂层的膜层结构设计和CVD制备技术，解决金刚石复合涂层的结构设计与制备技术研究等问题，开展适用于空间工况条件的CVD金刚石复合润滑涂层膜层结构设计新方法、适用于钛合金/铝合金/镁合金等基体材料的CVD金刚石复合涂层制备新方法、基于空间工况环境的固体润滑涂层的摩擦学性能表征方法与评价体系、新型CVD金刚石固体润滑涂层应用等关键技术研究，取得研制出润滑系数＜0.15，滑动摩擦寿命≥3.0×105 r的金刚石复合润滑涂层，以满足航天航空机构类长寿命、低磨损的润滑需求的效果。图3-34所示为两种复合润滑涂层。

图3-34　复合润滑涂层

2）新型长寿命滑动电接触涂层制备技术

型号任务对导电滑环长寿命、高可靠性要求，以新型碳基导电耐磨涂层技术为对象，开展新型长寿命滑动电接触涂层制备工艺研究，包括新型导电碳基薄膜的成分及结构设计、低接触电阻/低摩擦磨损导电碳基薄膜精密可控制备技术、长寿命导电碳基薄膜环体与刷丝摩擦副选配技术、导电碳基薄膜载流摩擦磨损寿命评估及常见缺陷控制技术等关键技术，该项技术为我国新型长寿命导电滑环的研制奠定基础。图3-35所示为盘式导电滑环表面涂层。

图3-35　盘式导电滑环表面涂层