3.3.2　MEMS特点

MEMS并不只是传统机械系统在尺度上的缩小。与传统机械系统相比，除了在尺度上很小外它将是一种高度智能化、高度集成的系统。同时，在用材上，MEMS突破了原来的以钢铁为主的形式，而采用硅、GaAs、陶瓷及纳米材料，具有较高的性价比，而且使用寿命增长。由于MEMS的尺度小、集成度高、功能灵活而强大，它使人类的操作、加工能力延伸到微米级空间，这种技术跨越将深刻影响国防科学技术和国民经济的发展。

MEMS的研究，还具有极大的学科交叉性：微型元器件的制造就涉及设计、材料、制造、测试、控制、能源及连接等技术。MEMS的研究除了上述单元技术外，还需要元器件的集成、装配等组合技术，同时会涉及材料学、物理学、化学、生物学、微光学、微电子学等学科作为理论基础。同时，为了掌握MEMS的各种机械、力学、传热、摩擦等方面的性能还必须建立微机械学、微动力学、微流体学、微摩擦学等新的理论，建立新的学科。