电子束选区熔化快速制造系统的组成

电子束选区熔化（Electron Beam Selective Melt-ing）快速制造系统是一种在电子束加工系统和快速制造系统的基础上集成的系统，如图10-7-7所示，以清华大学EBSM150—I为例。

图10-7-7 电子束选区熔化快速制造系统

EBSM的机械系统是工艺过程的执行机构，包括电子枪子系统、真空子系统和成形子系统。电子枪子系统主要由高压电源、电子枪、灯丝及聚焦线圈组成。真空子系统包括真空成形室和两套分别给电子枪和真空成形室提供真空的设备机组。成形子系统主要由电子束偏转子系统、Z轴升降子系统和材料输送子系统组成。电子束偏转子系统是电子枪子系统和成形子系统相互连接的纽带，是整个系统的核心部件。Z轴升降系统是分层制造必备的成形机构。材料输送子系统包括粉末材料在真空室中的存储、供粉、输送和回收，为成形过程提供材料。

控制系统的作用之一是为成形过程提供真空环境和高能电子，作用之二是对成形子系统进行控制，驱动工作平台的升降、供粉、铺压粉等规定的动作及实现电子束在二维平面的扫描运动，控制系统包括电子束控制子系统、真空控制子系统和EBSM工艺控制子系统，每个子系统又包括若干功能单元。电子束控制子系统主要对灯丝电流、阴极高压、栅极偏压和聚焦电流进行控制。真空控制子系统主要是维护工艺所要求的真空环境。材料输送子系统自动完成供粉和铺压粉工作。