18.5 实例——
机电系统电路耦合分析实例
本实例分析的是由静电传感器和机械谐振器组成的微机械系统，如图18-31所示。图中的弹簧K1、质量M1和阻尼器D1代表机械谐振器，EMT1代表静电传感器。静电传感器的脉冲激励电压如图18-32所示。此例需要输入的参数，平板面积为1×108μm2；初始间隙为150μm；相对介电常数为1；质量为1×10-4kg；弹簧刚度系数为200μN/μm；阻尼系数为40×10-3μNs/μm。计算机械谐振器的时间瞬时位移。(https://www.daowen.com)
图18-31 静电传感器和机械谐振器模型
图18-32 脉冲激励电压
