1.5.2　几种表面分析技术的对比

表1.3是几种表面成分分析技术的对比表。XPS、AES和SIMS这几种表面成分分析技术都可用于表面纳米级深度的成分表征，都可以进行深度剖析（深度剖析是测试样品从表面到微米级深度的成分变化分布情况）。从对比表中也可以看出，XPS的优点是可以分析元素的化学态（化学键接和价态），得到的成分信息比SEM-EDS和AES更全面；但成像空间分辨率比其他的几种技术都要弱一些，最好的只有7.5μm（最小束斑）左右。空间成像最佳的是AES，可以到纳米尺度；而TOF-SIMS在成分表征方面最全面，检出限很高（甚至ppb级），空间分辨也很优异（70 nm左右），最重要的是，成分信息比较全面（元素、同位素、化学键接等）。

表1.3　几种表面成分分析技术对比