1.7　XPS样品制备与要求

同分析设备情况下，影响XPS分析结果的因素通常有：样品准备、样品包装和运输、测试时样品制备过程、测试过程（包括测试条件选择、数据分析）等。如果前端样品准备、包装和制备过程出了问题，使得样品表面已经被污染或氧化，那么测试结果就不可信，数据分析也变得毫无意义。所以，样品准备、包装以及制样过程均需符合要求，才能保证后续的测试顺利进行。(https://www.daowen.com)

XPS的分析对象大部分都是固体样品，从材料成分来说，主要有金属、氧化物、半导体和高分子材料，这几年尤其在石墨烯、能源电池材料、金属摩擦领域、催化领域、半导体和有机半导体方面都有很大的应用需求。XPS通常是分析样品表面10 nm以内的成分信息，同时，通过离子源的深度剖析功能，可以分析纳米和亚微米级厚度的膜层结构。所以，保持样品的原表面状态就是保证分析结果的可靠的首要条件。