4.分析案例
样品信息和分析需求：钛化合物不同化学态解析以及含量分析。
拟合元素：Ti。
（1）全谱（图4.82）
图4.82 钛化合物的全谱
（2）精细图谱分峰拟合（图4.83～图4.85）
图4.83 Ti2p分峰拟合及其拟合参数参考
图4.84 O1s分峰
图4.85 C1s分峰
（3）分峰拟合后化学态归属（表4.56）(https://www.daowen.com)
表4.56 分峰拟合后化学态归属
（4）化学态含量分析（表4.57）
表4.57 全元素化学态定量分析（AC%）
（5）解析说明
全谱扫描主要判断样品表面是否包含C、O、Ti三种元素。分别对三个元素进行精细谱扫描，根据谱峰峰型以及结合能位置分别将三种元素的精细谱进行分峰拟合。三种元素之间的化学键合是相互佐证的。比如对碳化钛的判断，因为C1s精细谱中有低能（282 eV）的对应碳化物；而Ti2p谱峰中也有低能的（454 eV）碳化钛的钛；Ti2p谱中主要是正四价氧化物、少量的三价氧化钛，结合O1s谱峰中530 eV的金属氧化物谱峰，从含量上也是可以相互印证的。
Ti2p谱峰拟合参数设定比如自旋轨道分裂峰的能量差、半峰宽、谱峰面积比等都与化学态相关。
推荐资料
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