4.分析案例
样品信息和分析需求：钒化物掺杂分析。
拟合元素：Cu、S、V。
（1）全谱（图4.87）
图4.87 钒化物的全谱
（2）精细图谱分峰拟合（图4.88～图4.91）
图4.88 Cu2 p分峰
图4.89 样品的Cu LMM
注：修正俄歇参数α′＝α+hνX-ray
＝
（Cu LMM）+
（Cu2p3／2）
＝（1 486.6-569.32）+932.85＝1 850.13（eV）
可归属为Cu2 S
图4.90 V2p分峰拟合及其拟合参数参考
(https://www.daowen.com)
图4.91 S2p分峰
（3）分峰拟合后化学态归属（表4.61）
表4.61 分峰拟合后化学态归属
（4）解析说明
V2p1／2与Na KLL有重合，需要通过分峰拟合区分；定量可以只选择V2p3／2，V2p拟合参数可以参考前面的文字说明，得到不同氧化钒的含量。
Cu的化学态判断要结合Cu2p和Cu LMM谱峰，通过Cu2p3／2结合能，谱峰卫星峰特点，以及Cu LMM谱峰动能计算俄歇参数后来定义化学态。
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