4.分析案例

4.分析案例

样品信息和分析需求：氧化铬样品，需要分析表面Cr的化学价态以及百分含量。

拟合元素：Cr。

（1）全谱（图4.96）

图4.96　氧化铬的XPS全谱

（2）精细图谱分峰拟合（图4.97、图4.98、表4.65）

图4.97　C r2 p分峰及其拟合参数设置

(https://www.daowen.com)

图4.98　O1s分峰

表4.65　分峰拟合后化学态归属

（3）解析说明

不同化学态的Cr2p精细谱中大多有多重分裂谱峰，彼此有重合，很难用常规的只根据单一结合能的方法去判断价态以及分峰拟合判断含量。

参考表4.64中标准样品标准图谱的多重分裂分峰拟合参数（锁定谱峰结合能、谱峰面积比、半峰宽等）对Cr2p3／2进行分峰拟合，得到相对准确的不同化学态归属以及百分含量。

推荐资料

［1］Biesinger MC，Brown C，Mycroft J R，Davidson R D，McIntyre N S.X-ray photoelectron spectroscopy studies of chromium compounds［J］.Surface and interface analysis，2004（36）：1550-1563.

［2］Biesinger MC，Payne B P，Grosvenor A P，Lau L W，Gerson A R，Smart R S.Resolving surface chem ical states in XPS analysis of first row transition metals，oxides and hydroxides：Cr，Mn，Fe，Co and Ni［J］.Applied Surface Science，2011（257）：2717-2730.