4.分析案例
样品信息和分析需求：铜金属表面氧化态定性和定量。
拟合元素：Cu（Cu2p，Cu LMM）。
（1）精细图谱分析方法（图4.136、图4.137）
（2）分峰拟合后化学态归属（表4.87）
（3）解析说明
从Cu2p精细谱可以看出，有明显的正二价态铜的特征卫星峰（940～950 eV），说明主要是氧化铜CuO，通过分峰拟合可以区分932.5 eV低价态铜和二价氧化铜，但金属铜和正一价氧化铜的结合能都在932.5 eV左右，需要结合Cu LMM俄歇谱峰进行判断。铜俄歇谱峰Cu LMM峰型不规整，不能用常规G-L分峰拟合方法，而是采用非线性最小二乘拟合（NLS）的方法进行化学态分峰和识别，从而得到准确的金属铜、正一价氧化铜以及正二价氧化铜的比例关系。
图4.136 Cu2 p分峰
图4.137 Cu LMM的NLS拟合
表4.87 分峰拟合后化学态归属
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