4.分析案例
（1）分析案例1
样品信息和分析需求：通过大气等离子喷涂工艺，将YAG粉末喷涂到铝基体上，形成厚度为200μm左右的YAG陶瓷涂层，然后放置到等离子体刻蚀腔内进行等离子刻蚀，主要是F离子的刻蚀。
拟合元素：Y、O、Al、F。
①精细图谱分峰拟合，如图4.163～图4.166所示。
图4.163 Y3d分峰
图4.164 F1s分峰
图4.165 O1 s分峰
图4.166 Al2 p分峰
②分峰拟合后化学态归属，见表4.113。
表4.113 分峰拟合后化学态归属
续表
③原子百分比，见表4.114。
表4.114 原子百分比
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④解析说明。
通过对几种元素的精细谱分析，F1s结合能主要在685 eV左右，归属为金属氟化物；而Y3d谱峰明显可以分峰为两种化学态，结合O1s精细谱和F1s精细谱，可以判断涂层表面Y主要是以氧化态和氟化态共存的，结合能较高的为氟化钇，结合能较低的为氧化钇。
（2）分析案例2
样品信息和分析需求：Bi和Y掺杂钛酸锶，解析Bi、Y、Ti、Sr的化学态，分析空位氧含量。
拟合元素：Sr、Bi、Y、Ti、O。
①精细图谱分峰拟合，如图4.167～图4.170所示。
图4.167 Sr3 d分峰
图4.168 Ti2p分峰
图4.169 Y3d和Bi4f分峰
图4.170 O1 s分峰
②分峰拟合后化学态归属，见表4.115。
表4.115 分峰拟合后化学态归属
③解析说明。
Y3d与Bi4f有重合，需要通过分峰拟合将两种元素的精细谱进行区分；根据两种谱峰的自旋轨道分裂谱峰的能量差和谱峰面积比（比如d谱峰的谱峰面积比为3∶2，f谱峰的谱峰面积比为4∶3）很容易区分，并进行化学态归属和含量分析。
此案例中，Sr、Ti、Bi、Y化学态都比较单一，根据主要谱峰的结合能信息很容易判断化学态。测试时需要关注空位氧，通常空位氧在531～532 eV的能量范围，但此范围内也有吸附碳氧化学键如C
O，或金属氢氧键等。