4.分析案例

4.分析案例

样品信息和分析需求：含锆口腔材料化学态分析。

拟合元素：Zr。

（1）全谱分析（图4.174）

图4.174　含锆口腔材料的XPS全谱

（2）精细图谱分峰拟合（图4.175）

图4.175　Zr3 d分峰(https://www.daowen.com)

（3）分峰拟合后化学态归属（表4.118）

表4.118　分峰拟合后化学态归属

（4）解析说明

从全谱扫描图谱中判断样品表面主要包含C、O、Zr、Si、N、F等元素。根据Zr3d精细谱峰型和结合能位置，可以将Zr3d精细谱分为两种化学态，但Zr3d5／2结合能都在183 eV左右，都是正四价氧化锆，结合能更高的四价态氧化锆可能与氧化硅形成硅酸盐化合物。

推荐资料

［1］Wagner CD，Naumkin A V，Kraut-Vass A，Allison JW，Powell C J，Rumble Jr JR.NIST Standard Reference Database 20，Version 3.4（web version）［M］.National Institute of Standards and Technology：Gaithersburg，MD，2003：20899.

［2］Moulder J F，Stickle W F，Sobol P E，Bomben K D.Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy［M］.Minnesota：Perkin-Elmer Corporation，1992.