4.分析案例
（1）分析案例1
样品信息和分析需求：Ti3 C2和In2 O3两种材料单独制备后，用超声结合到一起，需要分析In和O的化学态。
拟合元素：In、O。
①精细图谱分峰拟合，如图4.218、图4.219、表4.151所示。
图4.218 In3 d分峰及In MNN动能测量
图4.219 O1 s分峰
表4.151 俄歇参数计算
②分峰拟合后化学态归属，见表4.152。
表4.152 分峰拟合后化学态归属
③解析说明。
In的化学态判断不能只分析In3d5／2，因其不同化学态的In3d5／2结合能非常相近（445 eV左右），所以无法区分；但In MNN谱峰的动能有差异，金属态和氧化态动能差为3 eV左右，可以结合俄歇谱峰以及俄歇参数来判断In的化学态。
（2）分析案例2
样品信息和分析需求：FTO导电玻璃上沉积TiO2膜层，在TiO2膜层表面继续生长Zn In2 S4，需要分析In、S、Zn的化学态，证实是否生成了Zn In2 S4。
拟合元素：In、S、Zn。
①精细图谱分峰拟合，如图4.220～图4.222和表4.153所示。(https://www.daowen.com)
图4.220 In3 d分峰及In MNN动能测量（从全谱中截取）
图4.221 Zn2p分峰及Zn LMM动能测量（从全谱中截取）
图4.222 S2 p分峰
表4.153 俄歇参数计算
②分峰拟合后化学态归属，见表4.154。
表4.154 分峰拟合后化学态归属
③原子百分比，见表4.155。
表4.155 原子百分比
④解析说明。
因为In不同化学态中In3d5／2的结合能相近，很难仅通过In3d5／2判断化学态；同样，Zn不同化学态中Zn2p3／2结合能也很相近，也不能只根据Zn2p3／2判断化学态；两个元素都需要同时结合俄歇谱峰和俄歇参数判断化学态。
根据In和Zn的俄歇参数，结合硫的化学态（金属硫化物）以及半定量数据，可以明确判断膜层表面主要是Zn In2 S4。
推荐资料
Wagner C D，Naumkin A V，Kraut-Vass A，Allison JW，Powell C J，Rumble Jr JR.NIST Standard Reference Database 20，Version 3.4（web version）［M］.National Institute of Standards and Technology：Gaithersburg，MD，2003：20899.