4.分析案例
样品信息和分析需求：样品成分为Hfx Tay Oz，是Hf-Ta有机聚合物在空气气氛下先固化再进行1 000℃煅烧所得，需要分析Hf、Ta、O的化学态以及原子百分比。
拟合元素：Hf、Ta、O。
（1）精细图谱分峰拟合（图4.267～图4.269）
图4.267 Hf4f分峰
图4.268 Ta4f分峰
图4.269 O1 s分峰
（2）分峰拟合后化学态归属（表4.194、表4.195）
表4.194 分峰拟合后化学态归属(https://www.daowen.com)
续表
表4.195 定量分析
（3）解析说明
根据Hf4f7／2和Ta4f7／2精细谱峰结合能位置可以判断Hf为正四价氧化态，而Ta为正五价氧化物；从氧分峰后不同化学态的含量可以判断应该有晶格氧和缺陷氧同时存在的可能。
推荐资料
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