1.1.1　微放电的概念

随着气压下降，气体的密度降低，气体分子之间的距离变大，电子的平均自由程也随之增大，电子碰撞电离损失随之减小，在射频电磁作用下电子从电场加速中可获得更高的能量，从而引发二次电子倍增放电现象，微放电就是典型的二次电子倍增放电现象。微放电也称为二次电子倍增效应，是指部件处于1×10-3 Pa或更低压强时，电子在外加电磁场的加速下，在金属表面或介质表面上发生的谐振放电现象。