图2.1示例了常见XPS的数据形式,包括全谱和所关心元素的精细谱。通过全谱可以得到所有元素的成分信息,也可以对所有测到的元素进行半定量计算;通过精细谱可以分析化学态,以及确定不同化学态的百分含量。可以说全谱和精细谱是XPS数据最核心的内容,绝大部分数据分析都要以它们为基础。(https://www.daowen.com)