2.3.3　全谱定性和定量分析

无论是全谱的定量还是精细谱的定量，都需要先进行谱峰的定性分析。先确定元素，再确定谱峰面积（需进行谱峰的背底扣除），最后才进行定量分析。其实从定量结果也可大概判断一些信息，比如是不是碳材料，是不是金属或氧化物、硫化物等。

全谱定性分析就是对采集到的谱峰进行元素定性识别。现在专业XPS分析软件里都集成了数据库，只要单击软件中的定性功能操作，软件会搜索数据库自动匹配谱峰对应的元素信息。图2.35列出了全谱分析步骤，图2.35（a）为软件自动进行元素定性识别，图2.35（b）依次对谱峰进行背底扣除，这一步比较关键，需要留意所选谱线标识与谱峰面积的对应关系，如图中V2p3对应单峰面积而Bi4f对应双峰范围等，因为谱线与面积不呼应，直接影响定量结果；图2.35（c）软件自动定量分析，含量可以呈现在图谱中，也可以单独作为文件保存，详细操作可参考第3章的软件教程。

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图2.35　全谱定量分析基本步骤

（a）全谱定性分析；（b）谱峰背底扣除；（c）全谱定量分析