3.5.1　常规表面分析案例

3.5.1　常规表面分析案例

XPS最主要的功能之一即为常规表面分析，使用ULVAC-PHI设备进行常规表面分析得到的数据格式为“.spe”。下面用实际案例演示常规表面分析全谱和精细谱的详细分析操作步骤。

1.数据打开与存储

单击“Open”，选择对应数据的路径，选定拟分析的数据（注意选择对应的数据格式类型），打开数据，如图3.88所示。

图3.88　操作实例之文件打开

2.全谱分析（图3.89）

图3.89　操作实例之全谱分析

3.荷电校正（用C1s进行校正）（图3.90）

图3.90　操作实例之精细谱荷电自动校正

也可以选择其他已知元素谱峰进行校正（图3.91）。

图3.91　操作实例之精细谱荷电手动校正

4.背底扣除（图3.92）

图3.92　操作实例之谱峰背底扣除

5.单峰拟合-添加谱峰（图3.93）

图3.93　操作实例之单峰拟合操作(https://www.daowen.com)

6.单峰拟合-调整拟合参数（图3.94）

图3.94　操作实例之单峰拟合操作与参数设置

7.单峰拟合-标注价态和保存数据（图3.95）

图3.95　操作实例之单峰拟合操作及拟合文件保存导出

8.双峰拟合-添加谱峰（图3.96）

图3.96　操作实例之双峰拟合操作

图3.96　操作实例之双峰拟合操作（续）

9.双峰拟合-调整拟合参数和保存数据（图3.97）

图3.97　操作实例之双峰拟合操作

10.化学态定量分析（图3.98）

图3.98　操作实例之拟合后化学态定量操作

图3.98　操作实例之拟合后化学态定量操作（续）