3.5.2 深度剖析实操案例
2026年07月26日
3.5.2 深度剖析实操案例
深度剖析也是XPS常用的功能之一，对ULVAC-PHI设备来说，得到的数据格式为“.pro”。下面结合Li-S（锂-硫）电极材料的案例演示一下深度剖析数据的具体分析操作步骤。
1.打开数据，查看图谱整体情况（图3.99）
图3.99 操作实例之深度剖析文件打开及参数设置
图3.99 操作实例之深度剖析文件打开及参数设置（续）
2.元素深度变化曲线（图3.100）
图3.100 操作实例之深度剖析曲线生成操作
3.横轴坐标转换（时间转换成深度）（图3.101）
图3.101 操作实例之时间轴转深度轴操作
4.精细谱分峰拟合-荷电校正（选择已知元素F谱校正）（图3.102）
图3.102 操作实例之深度剖析荷电校正(https://www.daowen.com)
5.精细谱分峰拟合-背底扣除（图3.103）
图3.103 操作实例之深度剖析精细谱背底扣除
6.精细谱分峰拟合-添加谱峰（图3.104）
图3.104 操作实例之深度剖析精细谱分峰拟合
7.精细谱分峰拟合-调整拟合参数（图3.105）
图3.105 操作实例之深度剖析精细谱分峰拟合
8.精细谱分峰拟合-查看图谱拟合情况（图3.106）
图3.106 操作实例之深度剖析精细谱分峰拟合
9.精细谱分峰拟合-深度变化曲线呈现（图3.107）
图3.107 操作实例之化学态深度分布曲线