3.2.2　基于Vaughan模型的铁氧体SEE模拟

如图3-3所示，采用传统机械加工工艺加工尺寸为10 mm×20 mm×1 mm的铁氧体样片。此处的铁氧体样片与铁氧体环行器中的铁氧体基片材料相同，均为柘榴石型铁氧体。机械加工工艺也与环行器中铁氧体基片相同，表面粗糙度Ra为1.6 μm。

图3-3　铁氧体样片

采用介质材料二次电子测量平台测量得到铁氧体样片的SEY曲线如图3-4所示。可以看到，在垂直入射条件下，该柘榴石型铁氧体样片的SEY最大值δmax0为2.37，对应的入射电子能量Emax0为300 eV。进一步地，采用修正Vaughan模型对测得的铁氧体SEY曲线进行模型拟合，并与实验数据进行对比，如图3-4所示。

图3-4　未清洗铁氧体样片的SEY曲线

关于Vaughan模型的详细定义及数学表达已在2.2.2小节中给出，由于模型简单，表征了SEY基本曲线形状与关键参数，Vaughan模型在微放电数值模拟与分析中得到广泛应用。本节采用修正Vaughan模型对铁氧体介质材料的SEY曲线进行拟合。由图3-4可知，拟合误差较小，并在第7章应用于铁氧体环行器微放电数值模拟与分析。