理论教育 光栅测量的基本原理

光栅测量的基本原理

时间:2023-06-16 理论教育 版权反馈
【摘要】:光栅用于测量的基本原理是利用莫尔条纹。这时,光栅上会出现若干条明暗相间的条纹,这种条纹称莫尔条纹。③光栅误差平均效应:莫尔条纹是由光栅的大量栅线共同形成的,对光栅的刻线误差有平均抵消作用,能在很大程度上消除栅距的局部误差和短周期误差的影响,提高光栅传感器的测量精度。当栅距为单位长度时,所显示的脉冲数则直接表示出位移量的大小。

光栅测量的基本原理

光栅用于测量的基本原理是利用莫尔条纹。如图8.8所示,将栅距W相同的两光栅刻面相对重叠在一起,中间留有适当的间隙,且两者栅线错开一个很小的角度θ。这时,光栅上会出现若干条明暗相间的条纹,这种条纹称莫尔条纹。其中,一个光栅称为主光栅(或标尺光栅),另一个光栅称为指示光栅,指示光栅的长度要比主光栅短得多。主光栅一般固定在被测对象上,且随被测对象移动,其长度取决于测量范围,指示光栅相对于光电器件固定,当主光栅与指示光栅相对移动时,在明亮的背景下可得到明暗相间的莫尔条纹。在m—m线上,两光栅的栅线彼此重合,光线从缝隙中通过并形成亮带,在n—n线上,两光栅彼此错开,形成暗带。

图8.8 光栅莫尔条纹的形成

由图8.8可知,莫尔条纹间距BH与两光栅刻线夹角θ之间的关系为

式中 BH——莫尔条纹的间距;

W——光栅间距;

θ——两光栅刻线间的夹角。

由此可知,莫尔条纹间距BH由栅距W和栅线夹角θ决定。对于给定栅距的光栅,θ越小,BH越大。通过调整θ,可使BH获得任何需要的值。莫尔条纹具有以下重要特征:

①莫尔条纹的运动与光栅的运动具有对应关系:在两光栅夹角θ一定的情况下,当一块光栅不动,另一块光栅沿x轴方向移动时,莫尔条纹沿着近似垂直于光栅运动方向(近似沿y轴方向)运动。两光栅相对移一个栅距W,莫尔条纹也同步移动一个莫尔条纹间距BH,固定点上的光强则变化1周,并且当标尺光栅沿x轴正方向(向右)移动时,莫尔条纹将向上(y轴正方向)移动;当标尺光栅沿x轴负方向(向左)移动时,莫尔条纹将向下(y轴负方向)移动,这种严格的对应关系,使人们不仅可根据莫尔条纹的移动量来判断光栅尺的位移量,同时还可根据莫尔条纹的移动方向来判断光栅尺的位移方向。

②位移放大作用:当光栅相对移动一个栅距W时,莫尔条纹上下移动一个莫尔条纹间距BH。由式(8.2)可知,θ越小,BH越大,这相当于把栅距W放大了1/θ倍。例如,θ=0.1°,则1/θ≈573,即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍,这相当于把栅距放大了573倍。说明光栅具有位移放大作用,从而提高了测量的灵敏度。(www.daowen.com)

③光栅误差平均效应:莫尔条纹是由光栅的大量栅线共同形成的,对光栅的刻线误差有平均抵消作用,能在很大程度上消除栅距的局部误差和短周期误差的影响,提高光栅传感器的测量精度。

若用光电元件(光敏二极管等)接收莫尔条纹移动时光强的变化,则光信号被转换为电信号(电压或电流)输出,如图8.9所示。输出电压信号的幅值为光栅位移量x的正弦函数,即

图8.9 光栅位移与输出电压的关系

式中 e——光电元件输出的电压信号;

e0——输出信号中的平均直流分量;

em——输出正弦信号的幅值;

x——两光栅间的瞬时相对位移。

将此电压信号经过放大、整形使其变为方波,经微分电路转换成脉冲信号,再经过辨向电路和可逆计数器计数,则可以数字形式显示出位移量的大小。位移量为脉冲数与栅距的乘积。当栅距为单位长度时,所显示的脉冲数则直接表示出位移量的大小。

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