前 言

近年来，X射线光电子能谱（XPS）作为最常用的表面分析技术之一，愈加广泛地应用在各领域中。本书因此对XPS的工作运行原理、数据处理方法以及实际应用案例进行了全面介绍。全书共分为4章：第1章为X射线光电子能谱理论篇，主要对仪器的基本原理、硬件组成与技术特点等进行了介绍。其余章节均侧重讨论XPS的数据分析，其中，第2章是XPS数据分析基础篇，主要介绍了不同XPS数据的形式和概念、各种测试功能及数据处理的方法与原则，此外，还对XPS图谱的定性分析、半定量分析以及分峰拟合的通用原则进行了介绍；第3章介绍了常用的XPS数据分析软件，并对MultiPak软件进行了细致的功能介绍和操作演示，同时列举了具体操作实例，以方便读者学习掌握；第4章是XPS数据分析实战篇，按照原子序数依次对锂到铀67种元素的基本信息、化学态归属参考、精细图谱参考及具体案例进行了介绍和解析。最后，附录选编了表面分析专用元素周期表等信息，有利于读者迅速查阅相关内容。

本书创作的背景为面对日益增多的XPS测试与数据分析需求，研究者们亟须一本全面的指导教材及参考资料来更好地处理XPS相关实验与数据。由于XPS相比于其他分析测试方法，在操作和数据分析上具有一定的专业要求和难度，一些刊出文献中的XPS数据分析也时有错误，误导读者；此外，硕士、博士研究生的流动性较大，对XPS数据的处理和分析往往都是靠课题组前辈所传授，很难建立起一套系统的关于XPS的理论与数据分析方法，这就极大影响了XPS实验数据的处理和结果解析。另外，对操作XPS仪器的分析测试人员来讲，也需要一个较为全面的参考资料，以增加测试效率、提高测试数据质量，更好地满足科研人员对高质量测试结果的需求，推动表面分析技术的进一步发展。

本书同时具备工具书和经验手册的特点，不仅包含对基础理论研究与软件操作的介绍，还引入了大量的应用实例，并保留彩色分峰曲线，以提升本书的可读性。这些都是著者多年的经验积累和对前人工作的总结。我们期望本书能够为有志于从事XPS方面的教学工作者与科研人员提供借鉴与指导，同时，对XPS分析测试技术感兴趣的读者也可阅读本书学习相关基础知识。(https://www.daowen.com)

本书主要著者包括宋廷鲁、邹美帅、鲁德凤等。此外，钱萌萌博士参与了第1章和第3章的部分工作，徐帆博士参与了第2章和第3章的部分工作，全书由宋廷鲁统稿。同时，感谢杨荣杰、叶上远、潘剑南、葛梦展、鲁德华、赵利媛、杜建新、石慧等对本书的支持和帮助。最后，本书的编写也得到了北京理工大学材料学院先进材料实验中心、ULVAC-PHI及PHI-CHINA的大力支持和帮助，在此一并感谢。

由于著者的水平有限，书中难免有疏漏和不妥之处，敬请读者提出宝贵意见和建议，以使我们不断改进。

著者