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内容简介

序

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中英文注释及缩写

第1章　X射线光电子能谱理论篇

1.1　X射线光电子能谱基本原理

1.2　XPS全谱信息与精细谱化学态识别

1.2.1　XPS全谱信息

1.2.2　XPS精细谱化学态识别

1.2.3　结合能位移与化学态

1.3　XPS系统硬件构成

1.4　XPS主要功能

1.5　XPS主要技术特点

1.5.1　各种分析技术的分辨率和灵敏度

1.5.2　几种表面分析技术的对比

1.5.3　XPS分析技术探测信息深度

1.6　XPS的主要应用

1.7　XPS样品制备与要求

1.7.1　XPS样品准备与包装

1.7.2　XPS样品托的选择

1.7.3　XPS样品制备与固定

1.7.4　样品传送管保护进样

第2章　X射线光电子能谱数据分析基础篇

2.1　XPS的主要数据形式

2.1.1　标准的XPS图谱

2.1.2　XPS的半定量分析

2.1.3　微区分析（多点分析和微区成像）

2.1.4　微区化学态成像

2.1.5　深度剖析

2.2　认识谱图和谱峰识别

2.2.1　谱峰标注

2.2.2　光电子谱峰中的非弹性背底

2.2.3　自旋-轨道分裂峰

2.2.4　不同元素的光电子与电离截面的关系

2.2.5　震激峰／震离峰

2.2.6　多重分裂峰

2.2.7　能量损失谱峰

2.2.8　XPS图谱中的俄歇激发

2.2.9　价带谱

2.2.10　X射线卫星峰和“鬼峰”

2.3　XPS图谱的定性和半定量分析

2.3.1　典型XPS图谱数据

2.3.2　XPS全谱和精细谱的意义

2.3.3　全谱定性和定量分析

2.3.4　精细谱定性和定量分析

2.3.5　XPS半定量分析注意事项

2.4　XPS数据处理（精细谱分峰拟合）通用原则

2.4.1　XPS谱峰荷电校正方法

2.4.2　XPS谱峰平滑

2.4.3　XPS谱峰背底扣除

2.4.4　XPS谱峰拟合数学函数模式选择

2.4.5　XPS单峰拟合

2.4.6　双峰中自旋-轨道分裂峰的分析方法

2.4.7　重合谱峰的拟合方法

2.4.8　多重分裂谱峰的分峰方法

2.4.9　俄歇图谱和俄歇参数判断化学态

2.4.10　常见XPS数据分析错误案例

2.4.11　XPS数据分析流程总结

2.5　数据库和网站资源介绍

2.6　XPS相关标准和规范

第3章　X射线光电子能谱数据分析软件篇

3.1　数据分析软件简介

3.2　不同数据文件格式

3.3　Mu ItiPak软件基本介绍

3.3.1　Mu ItiPak软件界面介绍

3.3.2　数据文件格式类型

3.4　Mu ItiPak数据分析处理流程和操作步骤

3.4.1　定性分析

3.4.2　定量分析

3.4.3　化学态分析

3.4.4　深度剖析

3.4.5　变角分析

3.4.6　图像（Mapp ing）分析

3.4.7　线扫描分析

3.4.8　报告制作

3.5　Mu ItiPak实操案例

3.5.1　常规表面分析案例

3.5.2　深度剖析实操案例

第4章　X射线光电子能谱数据分析实战篇

4.1　锂（Li）

1.基本信息（表4.1）

2.Li1s化学态归属参考（表4.2）

3.Li1s精细图谱参考（图4.1、图4.2）

4.分析案例

5.全元素化学态定量分析（表4.4）

4.2　铍（Be）

1.基本信息（表4.5）

2.Be1s化学态归属参考（表4.6）

3.Be精细图谱参考（图4.5～图4.9）

4.3　硼（B）

1.基本信息（表4.7）

2.B1s化学态归属参考（表4.8）

3.B1s精细图谱参考（图4.10）

4.分析案例

4.4　碳（C）

1.基本信息（表4.10）

2.C1s化学态归属参考（表4.11）

3.C1s精细图谱参考（图4.13～图4.19）

4.5　氮（N）

1.基本信息（表4.12）

2.N1s化学态归属参考（表4.13～表4.15）

3.N1s精细图谱参考（图4.20～图4.23）

4.分析案例

5.化学态定量分析（图4.17）

4.6　氧（O）

1.基本信息（表4.18）

2.O1s化学态归属参考（表4.19、表4.20）

3.O1s精细图谱参考（图4.27、图4.28）

4.7　氟（F）

1.基本信息（表4.21）

2.F1s化学态归属参考（表4.22）

3.F1s精细图谱参考（图4.29）

4.分析案例

4.8　钠（Na）

1.基本信息（表4.24）

2.Na1s化学态归属参考（表4.25）

3.Na1s精细图谱参考（图4.32、图4.33）

4.分析案例

4.9　镁（Mg）

1.基本信息（表4.28）

2.Mg1s／Mg2p化学态归属参考（图4.29）

3.Mg1s精细图谱参考（图4.40、图4.41）

4.10　铝（AI）

1.基本信息（表4.30）

2.A l2p化学态归属参考（表4.31）

3.A l2p精细图谱参考（图4.42）

4.分析案例

4.11　硅（Si）

1.基本信息（表4.34）

2.Si2p化学态归属参考（表4.35）

3.Si2p精细图谱参考（图4.48、图4.49）

4.12　磷（P）

1.基本信息（表4.36）

2.P化学态归属参考（表4.37、表4.38）

3.P2p精细图谱参考（图4.50）

4.分析案例

4.13　硫（S）

1.基本信息（表4.40）

2.S2p化学态归属参考（表4.41）

3.S2p精细图谱参考（图4.52、图4.53）

4.分析案例

4.14　氯（CI）

1.基本信息（表4.42）

2.Cl2p化学态归属参考（表4.43）

3.Cl2p精细图谱参考（图4.64）

4.分析案例

4.15　氩（Ar）

1.基本信息（表4.45）

2.Ar2p化学态归属参考（表4.46）

3.Ar2p精细图谱参考（图4.70）

4.16　钾（K）

1.基本信息（表4.47）

2.K化学态归属参考（表4.48）

3.K 2p精细图谱参考（图4.71）

4.17　钙（Ca）

1.基本信息（表4.49）

2.Ca2p化学态归属参考（表4.50）

3.Ca2p精细图谱参考（图4.72）

4.分析案例

4.18　钪（Sc）

1.基本信息（表4.52）

2.Sc2p化学态归属参考（表4.53）

3.Sc2p精细图谱参考（图4.76、图4.77）

4.19　钛（Ti）

1.基本信息（表4.54）

2.Ti2p化学态归属参考（表4.55）

3.Ti2p精细图谱参考（图4.78～图4.81）

4.分析案例

4.20　钒（V）

1.基本信息（表4.58）

2.V2p化学态归属参考（表4.59）

3.V2p精细图谱参考（图4.86）

4.分析案例

4.21　铬（Cr）

1.基本信息（表4.62）

2.Cr化学态归属参考（表4.63）

3.Cr精细图谱参考（图4.92～图4.95）

4.分析案例

4.22　锰（Mn）

1.基本信息（表4.66）

2.Mn2p化学态归属参考（表4.67）

3.Mn2p精细图谱参考（图4.99～图4.104）

4.分析案例

4.23　铁（Fe）

1.基本信息（表4.71）

2.Fe2p化学态归属参考（表4.72）

3.Fe2p精细图谱参考（图4.108～图4.112）

4.分析案例

4.24　钴（Co）

1.基本信息（表4.75）

2.Co2p化学态归属参考（表4.76）

3.Co2p精细图谱参考（图4.114～图4.116）

4.分析案例

4.25　镍（Ni）

1.基本信息（表4.80）

2.Ni2p化学态归属参考（表4.81）

3.Ni2p精细图谱参考（图4.124～图4.127）

4.分析案例

4.26　铜（Cu）

1.基本信息（表4.84）(https://www.daowen.com)

2.Cu2p化学态归属参考（表4.85、表4.86）

3.Cu2p精细图谱参考（图4.129～图4.135）

4.分析案例

4.27　锌（Zn）

1.基本信息（表4.88）

2.Zn2p化学态归属参考（表4.89）

3.Zn2p和Zn LMM精细图谱参考（图4.138）

4.分析案例

4.28　镓（Ga）

1.基本信息（表4.92）

2.Ga2p、Ga3d、Ga3p以及俄歇参数化学态归属参考（表4.93）

3.Ga2p、Ga3d精细图谱参考（图4.140）

4.分析案例

4.29　锗（Ge）

1.基本信息（表4.95）

2.Ge化学态归属参考（表4.96）

3.Ge精细图谱参考（图4.144）

4.分析案例

4.30　砷（As）

1.基本信息（表4.99）

2.As3d化学态归属参考（表4.100）

3.As3d精细图谱参考（图4.149、图4.150）

4.分析案例

4.31　硒（Se）

1.基本信息（表4.103）

2.Se3d化学态归属参考（表4.104）

3.Se3d图谱参考（图4.155～图4.157）

4.32　溴（B r）

1.基本信息（表4.105）

2.Br3d化学态归属参考（表4.106）

3.Br3d精细图谱参考（图4.158）

4.33　铷（Rb）

1.基本信息（表4.107）

2.Rb3d化学态归属参考（表4.108）

3.Rb3d精细图谱参考（图4.159）

4.34　锶（Sr）

1.基本信息（表4.109）

2.Sr3d化学态归属参考（表4.110）

3.Sr3d精细图谱参考（图4.160）

4.35　钇（Y）

1.基本信息（表4.111）

2.Y3d化学态归属参考（表4.112）

3.Y3d精细图谱参考（图4.161、图4.162）

4.分析案例

4.36　锆（Zr）

1.基本信息（表4.116）

2.Zr3d化学态归属参考（表4.117）

3.Zr3d精细图谱参考（图4.171～图4.173）

4.分析案例

4.37　铌（Nb）

1.基本信息（表4.119）

2.Nb化学态归属参考（表4.120）

3.Nb精细图Nb3d谱参考（图4.176）

4.分析案例

4.38　钼（Mo）

1.基本信息（表4.122）

2.Mo3d化学态归属参考（表4.123）

3.Mo3d精细图谱参考（图4.180～图4.182）

4.分析案例

4.39　钌（Ru）

1.基本信息（表4.125）

2.Ru3d化学态归属参考（表4.126～表4.128）

3.Ru3d精细图谱参考（图4.185～图4.188）

4.分析案例

4.40　铑（Rh）

1.基本信息（表4.131）

2.Rh3d化学态归属参考（表4.132）

3.Rh3d精细图谱参考（图4.193）

4.分析案例

4.41　钯（Pd）

1.基本信息（表4.134）

2.Pd3d化学态归属参考（表4.135）

3.Pd3d精细图谱参考（图4.196、图4.197）

4.分析案例

4.42　银（Ag）

1.基本信息（表4.137）

2.Ag3d化学态归属参考（表4.138）

3.Ag3d精细图谱参考（图4.200～图4.202）

4.分析案例

4.43　镉（Cd）

1.基本信息（表4.143）

2.Cd化学态归属参考（表4.144、表4.145）

3.Cd3d精细图谱参考（图4.206、图4.207）

4.分析案例

4.44　铟（In）

1.基本信息（表4.149）

2.In3d化学态归属参考（表4.150）

3.In3d精细图谱参考（图4.216、图4.217）

4.分析案例

4.45　锡（Sn）

1.基本信息（表4.156）

2.Sn3d化学态归属参考（表4.157）

3.Sn3d精细图谱参考（图4.223、图4.224）

4.分析案例

4.46　锑（Sb）

1.基本信息（表4.160）

2.Sb3d化学态归属参考（表4.161）

3.Sb3d精细图谱参考（图4.229、图4.230）

4.47　碲（Te）

1.基本信息（表4.162）

2.Te3d化学态归属参考（表4.163）

3.Te3d精细图谱参考（图4.231）

4.分析案例

4.48　碘（I）

1.基本信息（表4.167）

2.化学态归属参考（表4.168）

3.I3d精细图谱参考（图4.240）

4.分析案例

4.49　铯（Cs）

1.基本信息（表4.172）

2.Cs3d化学态归属参考（表4.173）

3.Cs3d精细图谱参考（图4.244～图4.246）

4.50　钡（Ba）

1.基本信息（表4.174）

2.Ba3d化学态归属参考（表4.175）

3.Ba3d精细图谱参考（图4.247～图4.249）

4.分析案例

4.51　镧（La）

1.基本信息（表4.177）

2.La3d5／2化学态归属参考（表4.178）

3.La精细图谱参考（图4.252、图4.253）

4.分析案例

4.52　铈（Ce）

1.基本信息（表4.182）

2.Ce3d5／2化学态归属参考（表4.183）

3.Ce精细图谱参考（图4.256、图4.257）

4.分析案例

4.53　钕（Nd）

1.基本信息（表4.185）

2.Nd3d化学态归属参考（表4.186）

3.Nd3d精细图谱参考（图4.261）

4.54　铕（Eu）

1.基本信息（表4.187）

2.Eu4d化学态归属参考（表4.188）

3.Eu4d精细图谱参考（图4.262）

4.55　钆（Gd）

1.基本信息（表4.189）

2.Gd4d化学态归属参考（表4.190）

3.Gd4d精细图谱参考（图4.263）

4.分析案例

4.56　铪（Hf）

1.基本信息（表4.192）

2.Hf4f化学态归属参考（表4.193）

3.Hf4f精细图谱参考（图4.265、图4.266）

4.分析案例

4.57　钽（Ta）

1.基本信息（表4.196）

2.Ta4f化学态归属参考（表4.197）

3.Ta4f精细图谱参考（图4.270）

4.58　钨（W）

1.基本信息（表4.198）

2.W4f化学态归属参考（表4.199）

3.W4f精细图谱参考（图4.271、图4.272）

4.分析案例

4.59　铼（Re）

1.基本信息（表4.201）

2.Re4f化学态归属参考（表4.202）

3.Re4f精细图谱参考（图4.275）

4.分析案例

4.60　铱（Ir）

1.基本信息（表4.204）

2.Ir4f化学态归属参考（表4.205）

3.Ir4f精细图谱参考（图4.278）

4.61　铂（Pt）

1.基本信息（表4.206）

2.Pt4f化学态归属参考（表4.207）

3.Pt4f精细图谱参考（图4.279）

4.分析案例

4.62　金（Au）

1.基本信息（表4.209）

2.Au4f化学态归属参考（表4.210）

3.Au4f精细图谱参考（图4.282）

4.分析案例

4.63　汞（Hg）

1.基本信息（表4.212）

2.Hg4f化学态归属参考（表4.213）

3.Hg4f精细图谱参考（图4.286）

4.分析案例

4.64　铊（TI）

1.基本信息（表4.216）

2.Tl4f化学态归属参考（表4.217）

3.Tl4f精细图谱参考（图4.289）

4.分析案例

4.65　铅（Pb）

1.基本信息（表4.220）

2.Pb4f化学态归属参考（表4.221）

3.Pb4f精细图谱参考（图4.293～图4.296）

4.分析案例

4.66　铋（Bi）

1.基本信息（表4.224）

2.Bi4f化学态归属参考（表4.225）

3.Bi4f精细图谱参考（图4.301）

4.分析案例

4.67　铀（U）

1.基本信息（表4.228）

2.U4f化学态归属参考（表4.229、图4.304）

3.U4f精细图谱参考（图4.305、图4.306）

4.分析案例

参考文献

附 录