X射线光电子能谱仪主要测量光电子的动能，光子能量减去动能就可以确定光电子的结合能。原子中的每个轨道激发的光电子都有独特的结合能，具有特征性。因此，采集XPS全谱就可以表征出样品表面元素的成分信息。(https://www.daowen.com)
