1.2.1　XPS全谱信息

通常我们看到的XPS图谱（图1.2）横坐标是结合能信息，纵坐标代表谱峰强度。结合能能量范围为0～1 400 eV左右，是因为现在商业化的XPS系统多采用的是单色化的Al KαX射线，能量为1 486.6 eV，所以结合能低于1 400 eV的电子都有可能被激发出来用于分析。

图1.2　纯银的XPS标准全谱示例(https://www.daowen.com)

一些设备也会选配高能靶，比如Ti、Zr、Ag、Cr等，入射源能量更高，可以激发出结合能更高的内壳层中的电子，因此采集的成分信息深度更深、能量范围更广。通常我们讨论的主要是Al KαX射线采集的图谱。

通过谱峰的能量位置可以进行元素的定性分析，这些能量的数值可以通过XPS数据手册或相关数据库查到。另外，这些信息在专业的XPS解析软件中也有集成，通过软件可以自动进行谱峰识别。目前XPS商业化设备常见的自带软件如Avantage和MultiPak都自带数据库，因而更易对谱峰进行定性分析。