1.7.3　XPS样品制备与固定

2026年07月26日

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1.7.3　XPS样品制备与固定

图1.17也展现了XPS样品制备和固定也有很多种方式。常用到的样品制备设备和工具主要有真空干燥箱、压片机和模具、红外灯、吹扫枪、退磁机、铝箔纸、剪刀、药勺、双面导电胶、不锈钢垫板、硅片、无粉乳胶手套、无尘纸、酒精等。

图1.17　ULVAC-PHIXPS各种不同类型的样品托

粉末、颗粒样品，以及其他导电性还不错的固体样品，可用导电碳胶、导电铜胶、铟箔直接固定在样品托上。粉末和颗粒样品除了直接粘到双面胶带上外，也可分散到水或挥发性溶剂中，形成悬浊液滴到硅片、金属箔等基底上，颗粒越小越好，越均匀越好。此外，粉末样品也可压片制样再固定。

片材、块状样品及压片样品可以用遮片遮挡固定。绝缘样品尽量用遮片（齿状）的方式制备，可减少荷电效应，提高信号灵敏度，保证信号强度均匀。这种方式制备样品也非常适用于紫外光电子能谱（UPS）分析。

对于不能用胶粘的样品或怕污染的样品，可以用弹片和螺钉固定片状、块状样品等。(https://www.daowen.com)

对于液体、膏状、胶状样品，可以把它们涂覆在硅片上干燥后再分析，尽量铺展均匀，测试时要注意基底干扰，同时，要对比测试空白区域。

对于纤维或网状的样品，如果直接固定在双面胶上测试，会测到背底双面胶的成分，对数据干扰很大。如果本来要分析的是有机纤维成分，那么数据分析C的时候，会有背底胶C1s谱峰的干扰，造成定性定量分析不准确。所以，通常采用带有凹槽的样品托通过搭桥的方式固定纤维或网状样品（图1.18）。

生物细胞类样品可在冷冻的条件下测试，当然，需要系统配置冷冻样品台。