1.7.2　XPS样品托的选择

不同的XPS设备有不同的样品托供选择。针对不同样品的材料、特点和测试需求，可根据实际样品的尺寸大小、数量、厚度、导电性等，来选择不同的样品托进行样品制备。(https://www.daowen.com)

图1.17为ULVAC-PHI公司XPS各种不同的样品托。比如最通用的样品托有直径为60 mm的圆形样品托和边长为75 mm的方形样品托，适合大批量样品的固定。变角分析样品托适用于变角分析；带遮片（Mask）的样品托适合绝缘材料以及防污染的样品制备；带弹片的样品托适合压放平整又怕被双面胶污染的样品；有凹坑的样品托用来放置较厚的样品或纤维网状的样品；需要进行C60溅射的样品必须选择专用的样品托等。不仅XPS操作测试人员需要了解上述信息，送样人员也需要对其有一定程度的了解。只有客户和测试人员充分沟通样品特性和测试需求，测试员才会根据样品特点选择适合的样品托，优化测试参数，得到满意可信的测试数据。另外，测试数据有问题时，也便于排除干扰因素。