2.2.7　能量损失谱峰

对于某些材料，光电子在离开样品表面的过程中，光电子还与其他电子相互作用，从而造成能量损失，结果导致在XPS低动能（高结合能）侧出现一些伴峰，即能量损失峰（线）。当光电子能量在100～1 500 eV时，非弹性散射的主要方式是激发固体中自由电子的集体振荡，产生等离子激元。电子的集体震荡产生的能量损失在图谱中会出现一组有规律的谱峰（图2.24），在文献上通常描述成Plasmon lines，也称之为能量损失峰。

图2.23　Mn2 p和Mn3 s的多重分裂峰

（a）Mn2p图谱中的多重分裂峰；（b）Mn2+3s终态示意图；（c）Mn3s多重分裂峰能量差与对应化学态

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图2.24　能量损失谱峰

如果不能准确识别出能量损失谱峰，可能会把它们判断成其他元素的谱峰或其他的化学态，造成误判。比如图2.25中Al2p和Al2s中的能量损失谱峰与其他元素的光电子谱峰如P2p和Mg2s有重合现象。

图2.25　Al2 s和Al2 p的能量损失谱峰