第3章　X射线光电子能谱数据分析软件篇

由XPS谱仪采集并直接保存的数据一般需要用专业的分析软件才能打开和处理，原始数据经过分析处理后，才会得到我们想要呈现的最终结果，因而需要Origin、Excel等软件的辅助。(https://www.daowen.com)

本章重点对XPS数据分析软件进行讲述。首先，对目前比较流行通用的XPS数据分析软件进行了简单介绍；然后，讨论了MultiPak软件的版本、安装、界面和窗口等基本问题；接着，详细介绍了MultiPak数据分析操作的步骤和流程；最后，列举两个实际典型案例，演示了MultiPak分峰拟合的具体操作步骤。对于其他功能，读者可以结合MultiPak使用手册进行操练，以达到举一反三的效果。