2.6 XPS相关标准和规范
1.设备操作和设备性能校准相关的参考标准
E902 Standard Practice for Checking the Operating Characteristics of X-ray Photoelectron Spectrometers.
GB／T 31470—2015俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
GB／T 22571—2017表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标尺的校准
ISO 15472：2010 Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectrometers-Calibration of energy scales
GB／T 28632—2012表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定
ISO 18516：2019 Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Determination of lateral resolution
GB／T 28633—2012表面化学分析X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性
ISO 24237：2005 Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectroscopy-Repeatability and constancy of intensity scale
GB／T 29556—2013表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
ISO／TR 19319：2013 Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution，analysis area，and sample area viewed by the analyser
SJ／T 10714—1996检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法
ASTME902—05 Standard practice for checking the operation characteristics of X-ray photoelectron spectrometers
2.样品制备参考标准
E1078 Standard Guide for Specimen Handling in Auger Electron Spectroscopy and X-ray Photoelectron Spectroscopy.
SJ／T 10458—1993俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
3.数据记录与报告参考标准
E673 Standard Terminology Relating to Surface Analysis.
GB／T 33502—2017表面化学分析X射线光电子能谱（XPS）数据记录与报告的规范要求
ISO 16243：2011 Surface chemical analysis-Recording and reporting data in X-ray photoelectron spectroscopy（XPS）(https://www.daowen.com)
GB／T 36401—2018表面化学分析X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告
ISO 13424：2013 Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectroscopy-Reporting of results of thin-film analysis
4.测试和分析方法相关的参考标准
GB／T 30702—2014表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
ISO 18118：2015 Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis of homogeneousmaterials
GB／T 25185—2010表面化学分析X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告
ISO 19318：2021 Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectroscopy-Reporting of methods used for charge control and charge correction
GB／T 32490—2016表面化学分析X射线光电子能谱确定本底的程序
ISO／TR18392：2005 Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectroscopy-Procedures for determining backgrounds
GB／T 30704—2014表面化学分析X射线光电子能谱分析指南
ISO 10810：2010 Surface chemical analysis-X-ray photoelectronspectroscopy-Guidelines for analysis
5.不锈钢材料分析参考标准
SEMI F19 Specification for the Finish of the Wetted Surfaces of Electropolished 316L Stainless Steel Components
A276 Standard Specification for Stainless Steel Bars and Shapes
A751 Standard Test Methods，Practices，and Term inology for Chemical Analysis of Steel Products
SEMI F60-0301 Test Method for ESCA Evaluation of Surface Composition of Wetted Surfaces of Passivated 316L Stainless Steel Components
6.其他材料的测试规范参考标准
GB／T 25188—2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量X射线光电子能谱法
YS／T 644—2007铂钌合金薄膜测试方法X射线光电子能谱法测定合金态铂及合金态钌含量