3.1　数据分析软件简介

目前比较流行的商用XPS分析软件主要有XPSPEAK、CasaXPS、Avantage、MultiPak和PeakFit等，各软件图标如图3.1所示。XPSPEAK和PeakFit类似，容易上手，但是高级功能要弱一些；CasaXPS界面友好，功能相对丰富，数据格式兼容性好，适合初学者；Avantage为Thermo Scientific公司的专业数据处理软件，功能也很强大；MultiPak为ULVAC-PHI公司开发的XPS数据处理软件，值得一提的是，CasaXPS和MultiPak均支持AES数据分析。

图3.1　常用的XPS数据分析软件(https://www.daowen.com)

各分析软件基本功能类似，但各有特色，细节上也有许多不同。普遍规律是功能越复杂、越强大的软件越不容易上手，需要花费较多的时间熟悉软件的使用；功能简单易用的则往往解决不了更多的分析需求，比如XPSPEAK就不能进行全谱的定性定量分析。表3.1对四种常用分析软件的主要功能进行了对比，初学者可以根据自身需求和个人偏好进行选择。

表3.1　常用XPS分析软件功能对比表