3.4.2 定量分析
1.定量分析数据处理流程（表3.5）
表3.5 定量分析数据处理流程
续表
2.定量分析程序基本操作
步骤1：打开文件，完成谱峰识别（ID或手动标识，有需要的话，可使用平滑工具对图谱平滑），如图3.10所示。
步骤2：完成谱峰识别后，扣除所有元素谱峰的背底，如图3.11所示。
图3.10 打开全谱完成谱峰元素定性标识
图3.11 谱峰背底扣除演示
步骤3：定量显示。单击快捷工具栏中的“%”选项，自动弹出“acsumm ry：Notepad”窗口，记录信息如图3.12所示。图中，RSF为灵敏度因子；CorrectedRSF为修正灵敏度因子（与设备和测试参数相关）；最后一列为原子百分比（Atomic%）。
图3.12 全谱定量操作和显示
3.同一样品两个文件组合进行全元素精细谱定量
步骤1：选中需要分析的两个文件，用Overlay方式关联打开，如图3.13所示。
图3.13 开包含全元素的关联精细谱文件
步骤2：扣除背景后单击“Prof／New”按钮，如图3.14所示。
图3.14 精细谱的背底扣除
步骤3：将两个文件的数据上传到同一窗口，如图3.15所示。
图3.15 元素定量窗口呈现
步骤4：单击“%”按钮，如图3.16所示。
图3.16 元素百分含量呈现(https://www.daowen.com)
*如果两个文件中有相同的元素图谱，而且两个文件中图谱个数不同，叠加操作后再定量将无法操作，错误提示信息如下所示：“Spectral must same number of datapoints in analysis region.Unable to create a profile.”
4.在相同能量区域有超过一个元素的定量
步骤1：例如在C1s能量范围探测到K2p，当K用元素周期表完成识别后，K2p即可添加进入，如图3.17所示。
图3.17 C1s精细谱中添加K2p操作演示
步骤2：扣除每一元素的背底，再进行定量，如图3.18所示。
步骤3：定量分析，如图3.19所示。
图3.18 对K2 p精细谱进行背底扣除
图3.19 加入新元素后原子百分含量呈现
5.定量分析过程中选择或排除特定元素操作
步骤1：扣除背景后单击“Prof／Upd”按钮，如图3.20所示。
步骤2：取消不需定量的元素，如图3.21所示。
步骤3：单击“%”按钮，如图3.22所示。
图3.20 精细谱分析进入元素定量窗口操作
图3.21 选择定量元素操作
图3.22 所选元素原子百分含量呈现
6.使用定量校正更改元素的谱峰位置
步骤1：需要调整元素谱峰进行定量分析时，在元素周期表窗口元素符号上单击鼠标中键（或Shift键+鼠标左键），调出“Transition”窗口，如图3.23所示。
图3.23 元素不同轨道选择界面
步骤2：在“Transition”窗口，在通道下拉菜单中选择对应谱峰，勾选“Selected”，单击“Select”按钮，即可添加谱峰；扣除背底后，再进行定量操作，如图3.24所示。
图3.24 元素不同轨道选择操作