3.4.3 化学态分析
1.化学态分析数据处理流程（表3.6）
表3.6 化学态分析数据处理流程
续表
2.指定特定校正值的化学态分析
步骤1：选择C1s谱峰，如果单击“Data”下拉菜单中的“Shift”，可自动将强度最高的谱峰顶端位移到默认值284.8 eV；如果选择“Shift Setup”，可设置特定谱峰的能量值对谱峰进行校正，如图3.25（a）所示。
步骤2：参考文献中的C—C位置，输入正确的PK能量值。输入数值，按Enter键，如图3.25（b）所示。例如：PHI红色数据手册中C—C能量值为284.8 eV。
单击“Auto Shift”，图谱中强度最高的谱峰将自动被校正匹配到刚才输入的数值。当最强谱峰结合能并非输入能量值时，需要手动校正，可单击鼠标右键，移动光标至与输入能量匹配的谱峰位置。
3.化学态分析基本操作：显示及分峰拟合结果保存
步骤1：谱峰校正，选中需要进行分峰的元素后，单击“Fit”按钮，进入“Fitting”窗口；选择背底扣除模式进行背底扣除；选择谱峰拟合函数模式，单击右键添加谱峰；依次加入谱峰补充到拟合不充分的部分；设置参数，如FWHM等；单击“Fit”按钮，进行拟合计算，如图3.26所示。
步骤2：化学态定量，单击“Annotate”按钮，如图3.27所示。
图3.25 精细谱谱峰校正操作
图3.25 精细谱谱峰校正操作（续）
图3.26 精细谱单峰拟合操作
步骤3：单击“File”→“Save As”，储存曲线拟合参数，如图3.28所示。
图3.28 拟合后文件保存和导出
步骤4：曲线拟合后储存图谱文件：在分峰窗口，单击“File”→“Save Result”；导出拟合文件：单击“File”→“Export to”→“ASCII”，即可用Origin等软件打开。
4.参数锁定分峰拟合（对称峰拟合）
步骤1：拟合自旋轨道分裂峰，软件集成了特定分裂峰能量差和谱峰面积比，如图3.29所示。
图3.29 对称峰型S2 p双峰拟合操作和参数设置
①对称谱峰选择Gauss-Lorentz拟合函数。
②以S2p为例，从低能开始右击添加1个谱峰（S2p3）。
③单击“doublet”，软件可自动添加S2p1，自动锁定面积比“Area Lock”（p曲线2∶1）和能量差（S2p1-S2p3＝1.18 eV）。
④同种化学态可以设定同样的半峰宽。
步骤2：重复步骤1，添加所有谱峰后，单击“Fit”按钮将进行拟合计算，如图3.30所示。
图3.30 对称峰型S2p双峰拟合呈现
5.参数锁定分峰拟合（不对称峰拟合）
步骤：拟合自旋轨道分裂峰，软件集成了特定分裂峰能量差和谱峰面积比，如图3.31所示。
①选择Asymmetric拟合函数。
②以Mo3d为例，右击添加Mo3d5，单击“doublet”，软件可自动添加Mo3d3，锁定面积比“Area Lock”（d曲线3∶2）和能量差（Mo3d3-Mo3d5＝3.13 eV）。
③同种化学态可以设定同样的半峰宽。
④往左拖曳谱峰，可调整“Tale Length”和“Tale Scale”。(https://www.daowen.com)
6.参数锁定分峰拟合（不对称峰+对称峰）
步骤①～⑦（图3.32）：
图3.31 不对称峰型Mo3 d双峰拟合操作和参数设置
①选择Asymmetric拟合函数。
②以Si2p为例，右键先添加单质态的硅Si2p3，单击“doublet”，软件可自动添加Si2p1，锁定面积比“Area Lock”（p曲线2∶1）和能量差（Si2p1-Si2p3＝0.61 eV）。
③同种化学态可以设定同样的半峰宽。
④往左拖曳谱峰，可调整Tale Length和Tale Scale参数。
⑤添加氧化态的Si2p，因氧化硅Si2p谱峰对称，拖尾参数应该设置为“0”。
⑥进入“Band Limits”窗口，锁定“Tale Length”和“Tale Scale”，将拟合窗口中的两个参数设置为“0”。
⑦单击“Fit”按钮，进行拟合计算。
7.分峰拟合后不同化学态定量
步骤：①以上Si2p图谱拟合后，不勾选“Setup”。
②单击“Fit”按钮。
③单击“Prof／New”按钮后，于深度图窗口显示每个拟合分峰的强度，如图3.33所示。
图3.32 对称和不对称峰型同时存在的Si2 p精细谱分峰拟合操作
图3.33 Si2 p精细谱分峰后化学态定量操作
④深度图窗口中，谱线名称后面的标识（cf1、cf2）代表所拟合的化学态，当在分峰拟合时，使用Area Lock，两个关联被锁定的谱峰强度（如Si2p1和Si2p3）将相加在一起显示成一个化学态的Si2p总谱峰强度，如图3.34所示。
图3.34 全元素化学态定量选择
⑤单击“%”按钮，软件进行定量分析，如图3.35所示。
图3.35 精细谱化学态原子百分含量呈现
文本文件中包含分峰拟合的定量结果。
8.重合谱峰的分峰拟合
步骤1：进行分峰拟合，如图3.36所示。
图3.36 重合谱峰O1 s与Na KLL分峰拟合演示
步骤2：不勾选“Setup”，单击“Prof／New”按钮，如图3.37所示。
步骤3：定量中取消不属于该元素的分峰，如图3.38所示。
步骤4：分离重叠谱峰后的定量结果，如图3.39所示。
图3.37 重合谱峰进入定量窗口操作
图3.38 重合谱峰定量窗口谱峰选择和设置
图3.39 重合谱峰原子百分含量呈现