3.4.4 深度剖析
1.深度剖析的数据处理（表3.7）
表3.7 深度剖析的数据处理
续表
2.建立化学态深度分析：使用分峰拟合（一）
步骤：背景扣除之后，单击“Fit”按钮（图谱所显示的为全部深度周期图谱的平均值），当想要使用某些特定周期数据来进行曲线拟合时，不勾选“Setup”，移动屏幕右边滑动条，然后选择特定周期，如图3.40所示。
图3.40 深度剖析精细谱背底扣除和特定采谱周期选择操作
参考前面化学态分析的方法进行拟合，如图3.41所示。
图3.41 深度剖析精细谱拟合操作
3.建立化学态深度分析：使用分峰拟合（二）
步骤：
①不勾选“Setup”。
②单击下部工具栏的Fit按钮，如图3.42所示。
图3.42 深度剖析精细谱拟合后定量操作
③单击“Prof／Upd”按钮，如图3.43所示。
图3.43 深度剖析曲线生成
④移动右边的滑动条，将显示每一周期的曲线拟合结果。确认每一周期的曲线拟合是否正确，如图3.44所示。
⑤当移动图谱上的滑动条时，特定周期的位置将显示于深度窗口（屏幕上的黄色线），如图3.45所示。
⑥得到化学态深度曲线，如图3.46所示。
4.建立化学态深度图（使用LLS）
步骤1：扣除背景后，得到元素深度曲线，单击LLS按钮，如图3.47所示。
选择元素以完成LLS（在元素上单击或是单击“Profile Line”按钮），如图3.48所示。
图3.44 深度剖析数据每层精细谱拟合呈现
图3.45 化学态深度剖析曲线每层位置呈现
图3.46 化学态深度剖析曲线
图3.47 深度剖析曲线LLS拟合操作（1）
图3.48 深度剖析曲线LLS拟合操作（2）
步骤2：往左拖曳选择要作为标准单层膜层成分的区段，然后单击“Spec／Upd”按钮，所选区段图谱将显示在图谱窗口，如图3.49所示。
图3.49 深度剖析曲线LLS拟合操作（3）
步骤3：将所选择区域上的光谱平均，如图3.50所示。
图3.50 深度剖析曲线LLS拟合操作（4）
步骤4：单击“Fit”按钮，如图3.51所示。
图3.51 深度剖析曲线LLS拟合操作（5）(https://www.daowen.com)
在执行LLS前，取消不统计深度的元素，如图3.52所示。
图3.52 深度剖析曲线LLS拟合操作（6）
执行LLS后的深度分析图如图3.53所示。
图3.53 深度剖析曲线LLS拟合操作（7）
5.建立化学态深度图（使用TFA，内部标准和外部标准）
例如：两个样品中Fe的氧化层厚度是不一样的，如图3.54所示。
图3-54 深度剖析曲线TFA拟合操作（1）
步骤1：首先，使用样品A的数据，将数据保存并可作为外部标准图谱。
①打开文件，选择元素扣除背底后，单击“TFA”按钮，如图3.55所示。
②选择完成TFA后的元素（在元素或是深度线上单击），如图3.56所示。
步骤2：单击“PCA”按钮后进入图3.57所示窗口，在此决定系数。
单击SpecTFA键后进入图3.58所示画面，保存所选择的系数作为外部标准图谱。
单击“SaveSpec”按钮，储存图谱，如图3.59所示；保存后，在“TFA”窗口单击“Cancel”按钮退出。
图3.55 深度剖析曲线TFA拟合操作（2）
图3.56 深度剖析曲线TFA拟合操作（3）
图3.57 深度剖析曲线TFA拟合操作（4）
图3.58 深度剖析曲线TFA拟合操作（5）
图3.59 深度剖析曲线TFA拟合操作（6）
步骤3：关于样品B的数据，处理程序上需使用到外部标准图谱和内部标准图谱。
打开样品B文件后，进入“TFA”窗口，如图3.60所示。
图3.60 深度剖析曲线TFA拟合操作（7）
单击“PCA”按钮，决定系数，如图3.61所示。
图3.61 深度剖析曲线TFA拟合操作（8）
单击“SpecTFA”按钮，于Factor1（Fe氧化物）使用外部标准图谱；单击“Basic”按钮，打开之前保存的图谱；于Factor2（Fe金属）使用内部标准图谱，选择含有金属图谱的数据，如图3.62所示。
指定后的外部标准与内部标准“TFA”窗口，如图3.63所示。
执行“TFA”前，取消勾选不需要的元素，如图3.64所示。
执行“TFA”后的深度分析图如图3.65所示。
图3.62 深度剖析曲线TFA拟合操作（9）
图3.63 深度剖析曲线TFA拟合操作（10）
图3.64 深度剖析曲线TFA拟合操作（11）
图3.65 执行TFA后的深度曲线图