3.4.5 变角分析
1.变角分析的数据处理（表3.8）
表3.8 变角分析的数据处理
2.使用UTFA分析膜厚及薄层结构
步骤1：同深度剖析图谱曲线拟合，如图3.66所示。
图3.66 变角分析精细谱拟合操作
步骤2：化学态深度曲线生成，如图3.67所示。
图3.67 变角分析精细谱拟合化学态深度曲线(https://www.daowen.com)
步骤3：超薄膜层结构分析，如图3.68所示。
图3.68 变角分析超薄膜层结构分析操作（1）
步骤4：勾选膜层相关元素，如图3.69所示。
图3.69 变角分析超薄膜层结构分析操作（2）
分析结果如图3.70所示。
图3.70 变角分析超薄膜层结构分析操作（3）
