5.5　本章小结

石墨烯是实现空间大功率微放电阈值提升的关键材料，研究中通过控制石墨烯薄膜的生长时间，调控制备不同厚度的石墨烯薄膜，系统研究了不同厚度的石墨烯镀膜的表面SEY，确定了石墨烯镀膜厚度、电子入射角度等因素影响二次电子发射特性的规律。SEY随电子入射能量与入射角度的定量关系，SEY随入射角度的变化近似符合余弦定律。表面1～2 nm石墨烯镀膜能够极大地减小表面SEY；石墨烯镀膜厚度达到5～8 nm后，继续增大石墨烯镀膜厚度，SEY趋于稳定。实验上获得内电子的逃逸深度为5～8 nm，SEY抑制幅度超过40%。