在进行XPS数据分析之前，需要先了解一下XPS的数据形式，XPS图谱中全谱、精细谱以及谱峰识别相关的基本物理概念和意义。只有了解这些概念和意义，才能更好地解决数据分析过程中遇到的各类问题，才能根据材料背景和测试需求科学地进行数据分析。此外，本章也对XPS图谱的定性分析和半定量分析，以及精细谱分峰拟合的一些通用原则进行了介绍。最后，简单介绍了XPS数据分析过程中可能用到的一些数据库和资源。(https://www.daowen.com)
