XPS测试主要包括点扫描、线扫描、面扫描和深度剖析（含变角扫描）等，对应得到的数据形式有全谱、精细谱、SXI图像（X射线激发的二次电子成像）、微区化学态成像以及深度剖析数据等。测试的选择与测试需求有关，而不同的数据形式对应的数据格式也不尽相同，后续也会细讲。从这一小节我们先开始认识XPS的数据形式。(https://www.daowen.com)
