2.2　认识谱图和谱峰识别

前面对各种XPS的数据，包括图谱、Mapping、深度曲线等进行了介绍。本节重点是认识谱图和从谱图中识别出各种谱峰（谱线）。谱图中的各类谱线以及它们提供的重要信息是非常重要的。要分析XPS的谱图，进行元素的定性定量、化学态的定性定量以及谱峰的分峰拟合等，首先就是要识别各种谱峰。无论是全谱还是精细谱都带有特定的信息，了解如何去甄别这些信息，从中挑出有用的信息并排除干扰因素十分重要。

XPS谱图通常包括以下谱峰信息：光电子谱峰（Photoelectron lines）、自旋-轨道分裂峰（Spin-Orbital Splitting，SOS）、震激／震离峰（Shake-up／Shake-off lines）、多重分裂峰（Multiplet sp litting）、能量损失峰（Energy loss lines／Plasmon lines）、俄歇谱峰（Auger lines）、价带谱（Valence lines and bands）等，如果采用非单色化双阳极进行分析，可能还有卫星伴峰（Satellite lines）和鬼峰（Ghost lines）等。

全谱中最容易识别的一般是光电子谱峰和俄歇谱峰（图2.16（a））。而精细谱中，可以清楚地看到震激峰、能量损失峰等（图2.16（b）、（c）），但有些谱图中的谱峰可能较难识别。(https://www.daowen.com)

图2.16　XPS全谱和精细谱中的各类谱线示例

（a）Cu元素全谱图；（b）Cu2p精细谱；（c）Al2s和Al2p谱线中能量损失峰