2.1.3　微区分析（多点分析和微区成像）

当样品表面成分不均匀或表面形貌有差异时，可以用XPS对其进行多点定位分析，对比多点成分的差异。比如ULVAC-PHI的XPS可以通过扫描X射线的方式采集二次电子成像（SXI），通过SXI成像设置多点分析区域，然后对多点同时进行分析；其他设备也可以对多点依次分析，分别得到不同点的图谱数据，从而分析样品表面多点的成分。如图2.2（a）所示，样品红、蓝、绿区域三点的成分是完全不同的，分别是SiOx／WSi／SiNx Oy。另外，通过元素Mapping分析可以表征不同元素成分在特定区域的分布情况（图2.2（b），X射线分析束斑＜10μm），其中，Mapping中的每个像素点都有对应元素的图谱可以回溯。(https://www.daowen.com)