2.1.4　微区化学态成像

图2.2　XPS多点分析以及Mapping分布示例图

（a）同一区域设置三点采谱分析；（b）同一区域不同元素Mapping分布(https://www.daowen.com)

通过元素的Mapping分析，可以回溯不同区域的精细谱，以判定其化学态的差异（图2.3），从而得到不同化学态的Mapping，这也是XPS由谱得图、由图得谱的分析方法。通过MultiPak软件LLS拟合可回溯分析特定元素成像中每个像素点对应的化学态谱，这是由图得谱；根据化学态谱得到化学态成像，这是由谱得图。

图2.3　XPS化学态Mapping分布图示例（元素Si的不同化学态分布）