2.3.4 精细谱定性和定量分析
前面章节已经介绍了XPS的半定量分析方法即采用元素灵敏度因子法。简单来说，就是谱峰强度除以灵敏度因子，再用归一法定量。
具体定量分析步骤后续还会细讲，此处需要强调的是，在定量时，最好采用对应测试设备提供的软件进行定量处理。即使同种型号的谱仪，性能也有差异，包括测试参数带来的差异在内，均会影响光电子的传输性能（传输函数，TF），从而影响灵敏度因子，影响定量结果。ULVAC-PHI公司的MultiPak分析软件可以根据原始数据的测试条件来自动修正灵敏度因子，减小定量的误差；同样，其他品牌的设备也有其修正参数，尽量使定量结果接近真实值。
1.XPS的定量数据
定量数据表中一般会包含很多信息：定量选用的谱线、能量和能量范围、谱峰强度／面积、半峰宽、灵敏度因子、传输函数、原子百分比、质量百分比等。表2.2和表2.3分别是Avantage软件和Multipak软件导出的元素定量数据表，我们需要了解表格中的这些信息，但最重要的是检查主要谱峰是否选对，背底扣除有无问题，灵敏度因子是否正确，有无重合谱峰等，确定以上无误后，再分析最终的定量结果。
表2.2 XPS元素半定量数据统计表（Avantage软件）
(https://www.daowen.com)
表2.3 XPS元素半定量数据统计表（MultiPak软件）
2.半定量分析中的谱峰选择和谱峰背底扣除的对应
由于不同轨道的光电子谱线对应的灵敏度因子不同，所以定量时需注意谱峰选择和背底扣除的范围是否对应。比如用Avantage软件分析数据时，图2.36中Ba3d灵敏度因子是43.76，对应的谱峰面积是包含Ba3d5和Ba3d3，而Ba3d5灵敏度因子是25.84，对应的谱峰面积是Ba3d5单峰。所以，选择谱峰的时候一定要注意谱线和谱峰背底扣除的对应关系，否则会得到错误的定量结果。
图2.36 Avantage中谱峰选择和背底扣除的对应