2.4.2　XPS谱峰平滑

扫描得到的精细谱，有的数据比较平滑，有的数据噪声很大。如果要对噪声较大的谱峰进行分峰拟合，有时就需要先对谱峰进行平滑处理。谱峰平滑一方面可以让谱线看起来更清晰美观，另一方面是后续的分峰拟合要顺利一些。

通过软件可以对谱峰进行平滑处理，但谱峰平滑要适度，每个图谱要目测来操作平滑的过程，以免有些表征化学态的谱峰在平滑的过程中消失，比如示例图2.39中黑色圆圈位置，是Fe2p图谱中的震激特征峰，表征铁正三价的存在；但如果多次平滑（图2.39（b）和图2.39（c）），谱线细节就会丢失，震激峰特征性不再明显，就不能明确判断是否有正三价铁。

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图2.39　XPS谱峰平滑示例

（a）Fe2p原始图谱；（b）Fe2p谱峰平滑一次；（c）Fe2p谱峰平滑多次