2.4.3 XPS谱峰背底扣除
XPS的定量是通过谱峰面积除以灵敏度因子再用归一法定量，所以要确定峰面积。如果峰面积确定有误，会直接影响后面定量的结果。确定谱峰也就是确定谱峰的起点和终点，此两点间谱峰的背底将被扣除。峰的起点和终点位置对于定量计算的准确性是有很大影响的。
常用的背底扣除方式主要有Linear、Shirley、Tougaard和Smart。通常根据谱峰的实际峰型来选择合适的背底扣除方法，选择不同的方式会带来不同的误差，但在同一组数据分析中建议采用同一种背底扣除方式。
①Linear是直线的背底扣除方法。如果峰两端本底高度差别不大，可以采用Linear的方式。
②Shirley适用于峰两端台阶状峰型背底扣除。
③Smart类似于Shirley背底扣除方式，但会反复调整背底基线位置，使得背底基线不会切到数据曲线之上，适用于能量范围较宽的双峰背底扣除。
背底扣除的操作比较简单，将两边的光标（cursor）移动到对应元素谱峰两侧背底处（信号比较平缓、相对最低的区域）即可，如图2.40所示。(https://www.daowen.com)
在几种XPS数据分析软件里，XPS PEAK需要手动调节能量范围和参数才能找到合适的扣除方式，而CasaXPS、Avantage和MultiPak的数据处理软件均无须调整参数，只要在软件里选择背底扣除的方式即可，一般推荐Shirley或Smart对谱峰进行背底扣除。图2.41所示为几种谱峰背底扣除方法的对比情况，图2.41（a）和（b）为Linear方式对谱峰进行背底扣除，Linear方式适用于谱峰两端高低差异不大的图谱；而对于谱峰两端有台阶状起伏的谱峰不适用，背底基线跃于谱峰上端，造成面积计算不准确；图2.41（c）为Shirley扣除方式，但同样不适合轨道分裂峰能量差很大，且两端高低起伏明显的谱峰如Ba3d，这种情况下选择Smart方式扣除背底比较好，如图2.41（d）所示。
图2.40 MultiPak（a）和Avantage（b）软件中谱峰背底扣除示例
图2.41 几种谱峰背底扣除方法的对比
（a）单峰Linear背底扣除；（b）双峰Linear背底扣除；（c）双峰Shirley背底扣除；（d）双峰Smart背底扣除