2.4.5　XPS单峰拟合

2.4.5　XPS单峰拟合

s轨道的光电子谱峰，如C1s、O1s、N1s，当同一元素有多种化学态存在时，通常添加多个单峰拟合来区分不同化学态和百分含量。多重分裂峰的分峰拟合也可参考单峰的拟合原则。

单峰拟合以及谱峰标注的简易步骤如下（图2.47、图2.48）。

图2.47　软件Mu ltiPak拟合PET材料中C1 s单峰示例

（a）确定谱峰；（b）校正和平滑；（c）背底扣除；（d）分峰拟合

①根据样品信息、测试需求、谱峰的峰型和能量位置、查询相关数据库和文献先确定化学态位置和拟合单峰的数量。

②拟合相关谱峰。

③在图中标注主要的化学键（化学态、价态等）。(https://www.daowen.com)

图2.47演示常规的单峰分峰步骤：

①打开原始文件确定谱峰能量区间。

②谱峰校正和平滑（如需要）。

③背底扣除。

④根据谱峰峰型特点和能量位置，查阅数据库和权威资料判断其化学态，明确需要拟合的化学态数量后再进行分峰拟合。

图2.48为拟合后谱峰化学键标注的示例。此案例中，有机碳材料（PET）中，表征芳香环结构的震激峰π—π*键（结合能在291 eV左右）的谱峰峰型低而宽，半峰宽是其他谱峰的两倍左右，其他三个化学态谱峰的半峰宽比较相近，谱峰对称，容易分峰拟合。

图2.48　PET材料C1s拟合谱峰标注