2.4.11　XPS数据分析流程总结

XPS数据的分析流程总结如下：谱峰校正、谱峰平滑、扣背底、查询资料、判断有没有重合谱峰、全谱定性半定量、精细谱分析、分峰拟合、化学态定性定量等。这是大部分XPS数据分析的基本流程（图2.63），总结在此供大家参考。

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图2.63　XPS数据分析的基本流程