2.4.9　俄歇图谱和俄歇参数判断化学态

前面章节已讨论过俄歇谱峰和俄歇参数，对于同种元素不同化学态之间结合能差别比较小的光电子谱峰，很难单独判断化学态，需要同时扫描俄歇谱峰，比如Cu、Zn、Ag、Se、Na、As等元素。俄歇参数定义为特定元素的俄歇电子动能与光电子的动能之差，它综合考虑了俄歇电子能谱和光电子能谱两方面的信息。常用俄歇电子的动能和光电子的结合能之和来表示俄歇参数（即修正俄歇参数），在数据手册上可以查到部分元素不同化学态的修正俄歇参数数值。

由于俄歇参数能给出较大的化学位移，以及其与样品的荷电状况及谱仪状态无关，因而，常用俄歇参数来鉴定一些结合能变化较小的元素以及荷电校正困难的样品的化学态的变化。

由表2.6及图2.57可见Cu金属与Cu2 O的Cu2p谱峰几乎重合，仅通过Cu2p3结合能无法区分是金属态或正一价氧化铜。而Cu LMM俄歇图谱中两种化学态有明显区别，结合能相差2 eV左右，俄歇参数为Cu2p3结合能与Cu LMM俄歇动能之和，从俄歇参数很容易区分金属铜和正一价态氧化铜。

表2.6　Cu不同化学态的俄歇参数参考(https://www.daowen.com)

图2.57　金属铜和Cu2 O的Cu2p、Cu LMM精细谱对比