2.4.7　重合谱峰的拟合方法

进行精细谱分析时，要判断是否有重合谱峰。如果有全谱数据，可以很容易地从全谱信息中判断是否有重合谱峰的相互干扰。XPS专业处理软件可自动进行谱峰定性和标识，帮助分析人员快速识别重合谱峰。表2.4给出了部分元素可能存在的重合谱峰。

图2.53　自旋轨道分裂峰有重合的拟合案例（P2p、S2p精细谱的拟合）

表2.4　部分重合谱峰参考(https://www.daowen.com)

需要注意的是，在有重合谱峰存在的情况下，全谱的定量会不准确。在精细谱拟合时，要考虑重合谱峰之间的相互干扰，通过分峰拟合区分不同元素的谱线，同时在定量时要扣除重合谱峰面积，才能保证定性和定量的准确。图2.54为一谱峰干扰的示例，全谱中可见O1s与Sb3d5谱峰重合，因而全谱定量结果中对氧的定量分析肯定不准，需进行精细谱分峰拟合区分O1s与Sb3d5谱峰面积后，再进行定量分析和化学态归属。第4章也会有详细案例介绍。

图2.54　谱峰O1 s与Sb3 d5／2重合示例